超純水設(shè)備是采用預(yù)處理,、反滲透技術(shù)、超純化處理以及后級(jí)處理等方法,，將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎完全去除,，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機(jī)物均去除至很低程度的水處理設(shè)備,。

　　一,、5T/H超純水設(shè)備產(chǎn)水指標(biāo)

　　電阻率@25℃：大于等于10MΩ·cm

　　PH值：6.6-7.4

　　細(xì)菌總數(shù)：<9個(gè)/ml

　　微粒(>0.22µm )：≤500個(gè)/L

　　總有機(jī)碳：≤100ppb

　　二,、5T/H超純水設(shè)備工藝

　　原水箱→增壓泵→石英砂過濾器→活性炭過濾器→軟水器→一級(jí)RO主機(jī)→一級(jí)純水箱→二級(jí)RO主機(jī)→二級(jí)純水箱→增壓泵→紫外線殺菌器→膜濾器→EDI系統(tǒng)→TOC脫除器+脫氣膜+拋光混床→終端膜濾器

　　三、5T/H超純水設(shè)備組成

　　1,、原水箱

　　原水箱主要起到緩沖和調(diào)節(jié)進(jìn)水量的作用,，防止進(jìn)水水量和水壓不穩(wěn)定對(duì)設(shè)備造成的損壞和影響。

　　2,、原水泵

　　原水泵從原水箱取水,，對(duì)水箱內(nèi)的水增壓，達(dá)到后續(xù)設(shè)備的運(yùn)行的壓力和水量的要求,。

　　3,、石英砂過濾器

　　石英砂過濾器中通過裝填不同粒徑的高純度的石英砂對(duì)原水中懸浮物、顆粒物及膠體等物質(zhì)進(jìn)行過濾,，同時(shí)對(duì)原水中的濁度起到降低作用,。

　　4、活性炭過濾器

　　活性炭過濾器系統(tǒng)是利用活性炭吸附機(jī)理,，引起吸附的主要原因在于溶質(zhì)對(duì)水的疏水特性和溶質(zhì)對(duì)固體顆粒的高度親和力,。活性炭過濾器能夠吸附水中的有機(jī)物,，膠體和余氯等,。去除各種溶解性的有機(jī)物。還能去除水中的臭味,、色度,、以及殘留的濁度。

　　5,、保安過濾器

　　在RO裝置之前設(shè)置保安過濾器，目的是防止水中的大顆粒物進(jìn)入反滲透膜,，損壞反滲透膜,，確保RO的正常運(yùn)行。

　　6,、立式高壓泵

　　反滲透的使用過程中,，水的流向和運(yùn)動(dòng)是逆自然滲透的，要改變這種逆自然的滲透,，必須給液體一個(gè)動(dòng)力,，使它改變自然滲透過程中，淡水向濃水方向運(yùn)動(dòng),，鹽份向淡水方向滲透的規(guī)律,，而提高這個(gè)動(dòng)力有效的措施是增加外界壓力，高壓泵為反滲透膜組提供足夠的進(jìn)水壓力,，維持反滲透膜的正常運(yùn)行,。

　　7、反滲透系統(tǒng)

　　反滲透(RO)系統(tǒng)利用反向滲透原理，主要去除水中溶解鹽類,，同時(shí)去除一些大分子和預(yù)處理未去除的小顆粒等,。其功能是對(duì)經(jīng)過預(yù)處理的產(chǎn)水進(jìn)行脫鹽。

　　8,、RO產(chǎn)水箱

　　RO產(chǎn)水箱主要起到緩沖和調(diào)節(jié)水量的作用,。

　　9、紫外線殺菌器

　　紫外線殺菌器,，其優(yōu)點(diǎn)為輻照強(qiáng)度穩(wěn)定性高,，殺菌壽命長達(dá)9000小時(shí)，高透過率石英玻璃管,，透光率≥87%,，單價(jià)也比同類產(chǎn)品適中，殺菌壽命達(dá)8000小時(shí)后,，其輻照強(qiáng)度在253.7um保持穩(wěn)定不變,，比國內(nèi)同類產(chǎn)品輻照強(qiáng)度穩(wěn)定不變。與國外同類產(chǎn)品相比殺菌強(qiáng)度提高了18%-27%,，殺菌率能夠達(dá)到99.99%,。

　　10、EDI系統(tǒng)

　　一般自然水源中存在鈉,、鈣,、鎂、氯化物,、硝酸鹽,、碳酸氫鹽等溶解物，這些化合物由帶負(fù)電荷的陰離子和帶正電荷的陽離子組成,。通過反滲透(RO)的處理,，95%～99%以上的離子可以被去除，RO純水(EDI給水)電阻率的一般范圍是0.05～1.0MΩ.cm,，即電導(dǎo)率的范圍為20～1μS/cm,。根據(jù)應(yīng)用的情況，去離子水電阻率的范圍一般為5～18MΩ.cm,。另外,，原水中也可能包括其它微量元素、溶解的氣體(例如CO2)和一些弱電解質(zhì)(例如硼,、二氧化硅),，這些雜質(zhì)在工業(yè)除鹽水中必須被除掉，但是反滲透過程對(duì)于這些雜質(zhì)的清除效果較差,。因此,，EDI的作用就是通過除去電解質(zhì)(包括弱電解質(zhì))的過程,，將水的電阻率從0.05～1.0MΩ.cm提高到5～16MΩ.cm。

　　11,、TOC脫除器

　　其殺菌原理與紫外線殺菌器相同,，但是TOC脫除器使用的是185nm的紫外線，相比于253.7nm的紫外線具有更高的能量,，可以深度降解水源中的TOC,，最小可控制產(chǎn)水TOC在5PPb以內(nèi)。

　　四,、5T/H超純水設(shè)備優(yōu)勢(shì)

　　設(shè)備主要采用EDI和反滲透技術(shù),，產(chǎn)水可以達(dá)到15兆歐以上，出水水質(zhì)完全符合半電子廠的用水標(biāo)準(zhǔn),。設(shè)備具有結(jié)構(gòu)合理簡單,、連續(xù)運(yùn)行、操作方便,、,、自動(dòng)化程度高、使用壽命長,、自動(dòng)化運(yùn)行,、占地面積小、出水水質(zhì)高等優(yōu)勢(shì),。

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