前言：硅晶圓是現(xiàn)代微電子工業(yè)的基礎(chǔ)材料,，對(duì)于現(xiàn)代科技的發(fā)展具有至關(guān)重要的意義。微電子技術(shù)的發(fā)展已成為信息技術(shù),、航空航天,、軍事、通信,、能源等眾多領(lǐng)域的基礎(chǔ),，而這一切都離不開(kāi)硅晶圓的生產(chǎn)。而在硅晶圓制造工藝中還離不開(kāi)一種設(shè)備的身影,，那就是超純水設(shè)備,。

　　硅晶圓的制造過(guò)程中為何需要超純水設(shè)備？

　　因?yàn)?，硅晶圓的制造過(guò)程中,，需要使用大量的水進(jìn)行清洗和蝕刻。如果水質(zhì)中含有雜質(zhì),，就會(huì)對(duì)硅晶圓表面造成劃痕或腐蝕,，影響產(chǎn)品的質(zhì)量,。超純水設(shè)備可以去除水中的微粒、有機(jī)物,、無(wú)機(jī)物和其他雜質(zhì),，確保水質(zhì)達(dá)到極高純度，從而保證硅晶圓的質(zhì)量,。

　　硅晶圓生產(chǎn)中應(yīng)用的超純水設(shè)備主要采用的是預(yù)處理+反滲透+EDI+混床的組合形式來(lái)制備超純水,。設(shè)備具有高效低能、運(yùn)行成本低,，水資源利用率高,、體積較小、維修量小,，運(yùn)行時(shí)間長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn),。并且設(shè)備采用的EDI模塊可以避免添加任何化學(xué)品，不僅減少了化學(xué)品運(yùn)輸問(wèn)題,，同時(shí)降低了系統(tǒng)運(yùn)行費(fèi)用,。EDI模塊的應(yīng)用不會(huì)產(chǎn)生酸堿廢液，因此不需要酸堿中和處理,，這也就減少了一定的投資成本,。

　　超純水設(shè)備不僅擁有上述的優(yōu)勢(shì)，還能夠連續(xù)穩(wěn)定地制備品質(zhì)優(yōu)良的超純水,，水質(zhì)符合國(guó)家GMP認(rèn)證規(guī)定標(biāo)準(zhǔn),，而且還能夠滿足各種工業(yè)用水的不同需求，應(yīng)用范圍非常廣泛,，可適用于電子,、半導(dǎo)體、線路板,、集成電路,、精密機(jī)械的生產(chǎn)和清洗，還可以應(yīng)用在食品,、飲品和飲用水的制取行業(yè)中,。

　　結(jié)論：硅晶圓作為現(xiàn)代微電子工業(yè)的基礎(chǔ)材料，超純水設(shè)備能夠提供高純度的水,，可以有效避免因水質(zhì)問(wèn)題引發(fā)的硅晶圓被劃產(chǎn)生劃痕等問(wèn)題,，保證了硅片的質(zhì)量和性能。因此,，超純水設(shè)備是生產(chǎn)高質(zhì)量硅晶圓的必要條件,。

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