萊特萊德·環(huán)境
半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是我國(guó)電子信息產(chǎn)業(yè)的重要組成部分,,近年來(lái)發(fā)展迅速。我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的主要產(chǎn)品包括芯片,、半導(dǎo)體器件,、半導(dǎo)體材料等,應(yīng)用范圍廣泛,,包括計(jì)算機(jī),、通信、消費(fèi)電子,、汽車,、工業(yè)控制等領(lǐng)域,。我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展經(jīng)歷了從引進(jìn)到自主研發(fā)的過(guò)程,,現(xiàn)在已經(jīng)具備了一定的技術(shù)實(shí)力和規(guī)模優(yōu)勢(shì),除了國(guó)內(nèi)市場(chǎng)外,,還積極發(fā)展海外市場(chǎng),。
半導(dǎo)體清潔程度對(duì)于產(chǎn)品質(zhì)量至關(guān)重要,能直接影響到產(chǎn)品的安全性和可靠性,。半導(dǎo)體清潔不徹底會(huì)導(dǎo)致晶圓表面的雜質(zhì)含量增加,,從而影響到電子元件的工作性能和壽命。在半導(dǎo)體生產(chǎn)中,,常常會(huì)進(jìn)行蝕刻,、切割、焊接等工藝,,會(huì)造成半導(dǎo)體表面產(chǎn)生各種雜質(zhì),。這些雜質(zhì)成分的清洗需要采用到高純度的超純水,才能避免對(duì)半導(dǎo)體造成污染,。
超純水成分簡(jiǎn)單,,除了氫原子和氧原子之外,基本不含有任何有機(jī)物,、金屬離子,、鹽分、細(xì)菌和微生物,。應(yīng)用超純水清洗半導(dǎo)體不但可以去除半導(dǎo)體表面的污垢,,也不用擔(dān)心對(duì)其造成腐蝕和污染。超純水設(shè)備是生產(chǎn)這種超純水的專用設(shè)備,,采用了“反滲透+EDI+拋光混床”的技術(shù)工藝,,生產(chǎn)超純水連續(xù)穩(wěn)定,生產(chǎn)過(guò)程無(wú)污染,、能耗低,。
反滲透膜可以有效分離去除超純水中除了氫氧原子之外的雜質(zhì)成分,,是一種物理分離方式。EDI技術(shù)能實(shí)現(xiàn)帶電荷運(yùn)行,,加快離子遷移速度,,實(shí)現(xiàn)超純水深度脫鹽。拋光混床工藝處理有力保障超純水設(shè)備出水質(zhì)量,,使出水質(zhì)量達(dá)到18MΩ*cm(25℃),。
超純水設(shè)備生產(chǎn)超純水質(zhì)量可靠,應(yīng)用在半導(dǎo)體行業(yè)中能確保產(chǎn)品質(zhì)量,,降低產(chǎn)品報(bào)廢率,,從而提高半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的整體效益,對(duì)促進(jìn)我國(guó)半導(dǎo)體科技發(fā)展有重要價(jià)值,。
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