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硅晶圓清洗水可采用超純水設(shè)備生產(chǎn)

發(fā)布時(shí)間:2024-06-13

  硅晶圓是半導(dǎo)體制造過(guò)程中必不可少的材料之一,。它是一種無(wú)機(jī)非金屬材料,,主要由硅元素構(gòu)成,具有良好的穩(wěn)定性。在半導(dǎo)體制造中,,硅晶圓通常用作集成電路,、太陽(yáng)能電池和其他電子設(shè)備的基板,。硅晶圓的生產(chǎn)需要高精度的加工和嚴(yán)格的質(zhì)量控制,,以確保晶圓的純度和一致性。

  當(dāng)硅晶圓被污染時(shí),,需要對(duì)硅晶圓進(jìn)行清洗,,以此保證它作為電子器械生產(chǎn)原料的純凈度。硅晶圓清洗并不是自來(lái)水沖洗就可以的,,因?yàn)樗蔷懿牧?,必須要使用超純水清洗才可以保護(hù)它不受雜質(zhì)污染。超純水設(shè)備是生產(chǎn)超純水的專用技術(shù)產(chǎn)品,,可以穩(wěn)定連續(xù)地生產(chǎn)大批量品質(zhì)安全可靠的超純水,。

超純水設(shè)備

  超純水設(shè)備采用了“雙級(jí)反滲透系統(tǒng)+EDI模塊”的技術(shù)工藝。反滲透膜可以有效去除水中含有的鈣,、鎂,、鉀等金屬離子和其他微量元素,還可以將細(xì)菌,、微生物有效脫除,。EDI系統(tǒng)有效保證了超純水品質(zhì),脫鹽處理過(guò)程中不會(huì)產(chǎn)生酸堿廢液,,不會(huì)給后續(xù)工藝帶來(lái)處理負(fù)擔(dān),,省去了酸堿中和處理的步驟,簡(jiǎn)化了生產(chǎn)工藝,。

  超純水設(shè)備內(nèi)部還設(shè)置了獨(dú)有的靶向離子交換系統(tǒng),,可以將難處理的硼及其他離子定向去除。由于反滲透膜技術(shù)的存在,,在超純水生產(chǎn)時(shí)可以實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)的帶電荷運(yùn)行,,離子遷移速度會(huì)更快,脫鹽效果會(huì)更好,。除此之外,,超純水設(shè)備還實(shí)現(xiàn)了高度自動(dòng)化運(yùn)行,,操作非常靈活,節(jié)約了人員力量的投資成本,。

  超純水的水質(zhì)純度高,主要用作工業(yè)生產(chǎn)原料水和精密器械清洗水,。采用超純水清洗硅晶圓能有效保證硅晶圓的無(wú)菌性和純凈度,。超純水設(shè)備可以穩(wěn)定連續(xù)生產(chǎn)超純水,不需要更換樹(shù)脂,,具有很高的應(yīng)用價(jià)值,。

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  編輯:新奇   技術(shù):加菲

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